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雅马哈上市10倍净化度的机器人
日经BP社　2000-12-06 09:57:40

　　雅马哈发动机的IM公司将于2000年12月11日上市用于半导体和液晶显示器等制造工厂的、净化度较原有机型提高了10倍的机器人“雅马哈净化机器人C系列”（图）。该系列的机器人可适用于0.1μm基准的10级（每立方英尺内粒径0.1μm以上的灰尘为10个以下）的净化度。而此前的机型只能用于0.3μm基准的100级的净化度。同时，新机型的价格还比以前的机型便宜，单轴机器人为25万8000～36万8000日元，正交型机器人为120万日元，定标器型机器人为183万～270万日元。雅马哈发动机计划第一年销售2600套该系列产品。

　　单轴及正交型通过用不锈钢密封覆盖滑动台面，定标器型通过在先端轴安装波纹管使先端覆盖层整个均为密封结构，防止了灰尘的发生，同时提高吸气效率，达到了净化度10级的要求。