在光伏与新能源材料产业技术升级浪潮中，青岛芯笙微纳电子科技有限公司凭借自主研发的S300系列气体质量流量计及配套解决方案，持续为化学气相沉积（CVD）、硅碳复合材料制备、锂电负极材料合成等关键工艺提供高可靠性气体测控支持。通过核心技术自主化与工艺场景深度适配，已助力多家行业客户实现产线良率提升与综合成本优化。

一、CVD硅碳负极制备核心设备的气体控制突破

在硅碳负极主流制备工艺中，芯笙微纳针对回转炉与流化床两类核心设备开发专项解决方案：

1.回转炉气体环境精密调控

在连续式回转炉硅碳沉积工艺中，S300系列通过以下创新保障硅烷（SiH₄）、乙炔（C₂H₂）、氮气（N₂）的精准配比：

- 多气体兼容性：流道表面经碳化硅涂层处理，耐受硅烷腐蚀性分解产物

- 动态响应优化：1秒内阶跃响应速度匹配回转炉周期性翻转工况

- 安全联锁机制：与炉内压力传感器联动，硅烷浓度超限时自动切断供气

2.流化床工艺气体稳定输送

针对流化床中气固两相流扰动难题，S300+P300压力控制器系统实现三重保障：

- 压力补偿控制：P300实时调整供气压力，抵消流化床压差波动（最小控制精度±0.24kPa）

- 乙炔安全控制：通过本安CT4防爆认证，在乙炔-氮气混合气体中连续运行超8000小时

二、关键反应气体的精准流量控制

针对硅碳负极制备中高风险工艺气体的特殊需求，青岛芯笙微纳建立专项技术壁垒：

硅烷（SiH₄）控制

- 泄漏防护：全金属密封结构+氦质谱检漏工艺，泄漏率＜1×10 -12 Pa·m³/s He

- 快速截止：配备气动切断阀，响应时间＜50ms

乙炔（C₂H₂）控制

- 防爆设计：通过本安CT4防爆认证

- 流量控制稳定性：S300系列，重复精度≤±0.2%F.S.

氮气（N₂）载气控制

- 大流量精度：S300系列MFC支持300SLM流量控制，精度±0.3%F.S.或1%S.P.

- 通讯协议：支持EtherCAT、Profibus、RS485等多种通讯

三、技术延伸与服务支撑

青岛芯笙微纳同步构建全流程服务体系：

- 气体适配性测试：开放青岛中心实验室提供硅烷/乙炔专项测试

- 旧设备改造方案：存量进口MFC替换周期缩短至7个工作日

- 应急响应机制：华东、华北、西南、华南区域4小时内技术工程师到场支持

四、行业技术交流

4月25日-27日，芯笙微纳将深度参与青岛CVD硅碳负极材料技术大会（展位A04），构建“技术研讨-案例解析-产线实践”三维交流平台：

工艺气体控制专题研讨会（4月26日9:00）

- 特邀清华大学、中南大学、厦门大学、中科院、北京航空航天大学、哈工大等高校教授及硅碳负极材料产业链专家学者、企业及技术人员，共同探讨气相沉积硅基负极技术的发展现状、挑战与未来前景。

- 芯笙微纳首席科学家陶博士发布《针对硅碳负极材料的先进气体测控技术研究》

青岛芯笙产研基地开放日（4月26日-27日 全天）

- 参观半导体级洁净车间：S300系列全自动标定生产线。

- 材料沉积案例深度沟通：参与产线实践班的企业享年度优先技术服务配额。

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