11月1日，SEMICON China 2022国际半导体高峰论坛在上海国际会议中心开幕。此次论坛由高峰论坛、智能制造论坛等7个系列论坛组成，埃克斯工业（IKAS）CEO李杰受邀在智能制造论坛发表了《工业知识自动化推动半导体零缺陷生产ZDP》主题分享。

IKAS面向半导体全产业链提供工业知识自动化产品，并创新性地利用数字孪生、AR/VR等技术打造出“工业元宇宙”平台，在重塑半导体制造场景的基础上实现半导体制造的改进和优化、形成全新的制造和服务体系。李杰指出，这种平台化的整合，通过实现对fab资产的互联和上层系统开发部署，打造出虚拟和现实联通的真正孪生工厂，从根本上摆脱传统虚拟智能映射现实的瓶颈。

关于工业知识自动化所带来的收益，李杰表示，通过IKAS工业元宇宙平台的虚实结合，从工艺研发、生产优化、设备运维、产品测试和技术培训等多层面综合赋能，全方面助力芯片零缺陷生产。

IKAS工业元宇宙平台包括数字孪生、AR/VR生产培训、智能设备调度与控制、智能设备监控及维护预警、智能工艺优化等核心产品。

其中，数字孪生承载着工业知识自动化系统，整合了采集、聚合、洞见、优化四大功能，并根据物理实体和流程建立准实时数字化模型，帮助识别不同层面偏离理想状态的异常情况。

IKAS AR/VR是另一大创新型增强现实产品，利用高性能计算平台加速半导体制造领域模拟与建模的实际应用，创建实时基于物理信息的交互式数字孪生原型，以实现可视化与交互式探索。

随着各领域对芯片良率的要求逐渐升高，制造厂商开始致力于实现零缺陷生产，而实现零缺陷生产需要完整的制造体系。生产软件系统作为解决方案之一，对半导体产业体系发展有重大战略意义。

关于半导体厂商如何应对芯片ZDP零缺陷生产挑战，李杰介绍到，做到以下三大方面准备是有必要的，即树立规范生产理念，通过内外部培训建立芯片生产理念，从高管到基层员工人人形成零缺陷生产意识，严格执行规范；建立高标准运营要求，包括更严格的运营规定，如严格的无尘车间运维、清洁等政策，周期性内部监管、外部客户审计；更高资产状态要求，如对工艺、生产设备有更加严格的要求；更严格的spec，Fab inline Metrology & Defect、Yield、ET等核心KPI都有更严格的卡控标准Spec；更强的监测和量测，资产监控和量测强化，体现在监控和测试批次频率、同批次数据采集频率、数据采集量等；执行严格Lot管理，芯片lot特殊化管理，具有与其他lot不同的生产管理和调度规则，如生产和测试数据保存15年。

埃克斯工业凭借其核心的“ROPN底层建模技术+工业AI决策算法体系”，结合对上述三大方面的深厚理解所研发出工业元宇宙平台产品，正在为半导体全产业链赋能，助力芯片零缺陷生产。接下来，埃克斯工业将继续致力于通过工业知识自动化（智能制造）系统为半导体装备和产线的强化和升级赋能。

最后，李杰表示，半导体智能制造技术和系统的开发和落地，需要终端用户、解决方案提供商、研发机构、学术组织等的公共合作，充分利用多方资源，共同促进相关技术产品的落地、打造适合中国国情的半导体制造生态。

责任编辑：kj005