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国家级榜单发布!东方晶源电子束检测项目入选2022“科创中国”先导技术榜

国家级榜单发布!东方晶源电子束检测项目入选2022“科创中国”先导技术榜
2023-03-09 14:27:13 来源:财讯网

日前,2023“科创中国”年度会议上,中国科协正式发布了2022年“科创中国”系列榜单。经初评、终评,遴选公示多个环节,东方晶源申报的“电子束硅片图形缺陷检测与关键尺寸量测设备关键技术及应用”项目荣登“科创中国”先导技术榜。

“科创中国”系列榜单由中国科协推出,是“科创中国”建设的一项引领性、标志性工作,着力打造科技创新驱动高质量发展的风向标,围绕服务国家重大战略需求,促进创新链和产业链深度融合,为前沿技术的转化和产业落地起到带动和示范作用。此次荣登“科创中国”先导技术榜,再次证明东方晶源在电子束检测领域具有创新性、战略性、引领性、突破性,技术达到一定成熟度。

电子束缺陷检测设备(EBI)和关键尺寸量测设备(CD-SEM)是集成电路制造中用于良率监控的关键设备,对于提高集成电路制造企业的产品良率具有重要意义。经过多年技术攻关,东方晶源突破了集成电路制造检测设备的高速高精度硅片传输定位、高速图像像差补偿、自动缺陷检测和智能分类、小线宽尺寸量测等多项关键技术。截至目前,旗下EBI、CD-SEM均已通过产线验证并进入Fab量产,同时获得多家客户重复订单。

EBI设备使用高扫描速度、高束流的电子束对硅片表面进行成像随后通过智能算法检测出电性和物理缺陷。东方晶源EBI产品(SEpA-i515)可解决在28nm及以上制程缺陷检测问题,量产可靠性达到90%以上,使用率达到80%以上,适用对象包括但不限于逻辑芯片、闪存存储芯片制造等。

CD-SEM设备使用高分辨率、高稳定性的电子束对硅片表面进行成像,随后通过丰富的量测算法得到关键尺寸信息。东方晶源新一代CD-SEM产品(SEpA-c410)量测结果和重复性可以达到国际主流设备的容差范围,已解决28nm/40nm制程中线宽大于90nm的图形量测需求,设备可靠性达93%。同时更小线宽量测已通过测试验证,持续助力帮助客户解决更小、更高标准的图形量测问题。

东方晶源从创立伊始便聚焦于电子束检测领域,经过数年技术攻关,成功解决多项关键技术难题,填补国内相关技术空白并领跑国内行业发展。本次入选“科创中国”先导技术榜,是国家科技领域对东方晶源技术实力和取得成绩的高度认可。未来,东方晶源将不忘初心,充分发挥在电子束检测领域的技术积累和产业化经验,不断深耕,开拓创新,向更多检测领域积极布局,与产业链上下游企业共同携手,加速推进我国集成电路制造自主可控。

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责任编辑:kj005

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