不久前,世界三大领先的半导体代工厂台积电、格芯、三星加入 imec 的可持续半导体技术与系统 (SSTS) 研究计划,以帮助减少 IC 价值链的生态影响。此举也再次证明,降低资源消耗,推进可持续技术研究,是半导体企业降本增效,推进高质量发展的重要路径。

水资源是半导体制造中最重要的资源之一,随着半导体需求增长,半导体行业使用、处理和管理水资源变得愈加重要。因此,越来越多的企业开始重视这一课题,并通过与服务商合作提升半导体用水效能,降低生产成本和资源消耗,朝着更有效率更可持续的方向迈进。高频科技等具备先进超纯水工艺和循环再生解决方案的服务商,也相应地受到半导体企业的青睐,成为行业可持续发展的赋能者。

加强水资源管理,半导体企业迈向可持续制造战略

对半导体企业而言,提升良品率,能有效降低原材料浪费,节约大量成本,有助于推动可持续发展。而超纯水作为半导体制造过程中不可或缺的一环,其工艺的先进性和稳定性直接影响产品的质量和生产效率,与产品良率及经济效益密切关联。随着半导体迈向先进制程,对超纯水的要求也不断提高。

提高水资源利用率,同样有利于节约成本,并减少对地下水资源的消耗。半导体是用水大户,而且芯片生产的先进制程技术越进步清洗步骤越多,用水量会呈指数级提升。典型的8吋晶圆的生产制造每片需要消耗约2-4吨水;大于28纳米制程的12吋晶圆生产制造每片需要消耗约6-7吨水;当制程达到14-28纳米时每片需要消耗约18-20吨水。而晶圆厂的产能,通常是每月数万片甚至数十万片,耗水量可谓惊人。在这一情况下,半导体企业开始探索通过提升水资源利用率来降低生产成本。例如,台积电通过再生水替代措施,做到了一滴水循环使用 3.5 次。目前其所使用的水源中,85%-90%都是再生水。

立足先进超纯水工艺,高频科技服务半导体企业降本增效

作为立足于超纯工艺能力的工业级技术服务商,高频科技专注于芯片、显示等半导体高端制造业领域,通过提供领先的超纯水与循环再生解决方案及装备,助力半导体企业提升良品率和水资源利用效率,实现高效可持续发展。

依托行业经验、技术、人才等优势能力,高频科技不断探索超纯水的绝对纯度,已经完全掌握了先进半导体制程需要的超纯水生产全部核心工艺,特别是在PPB级别的TOC,溶解氧去除,以及PPT级别的硼、硅等特殊物质的去除方面,已能够成就水工业能力99.9999999999%(万亿分之一)的极致体现,协助半导体产品良率和生产效率提升。

为了帮助企业提升水资源利用率,高频科技研发打造的废水循环再生系统,可以帮助半导体企业减少废水量、减少用水量、减少能耗、减少化学品使用、减少设备使用损耗,通过保障水制程回收率 (可达 75% ～ 90%)、保障微量元素回收利用等来实现绿色厂务,满足降本增效可持续发展目标。

此外,高频科技依托公司大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维 专家模型,为半导体工厂量身定制一体化运维服务体系,满足客户全周期运维需求,规范管理、降本增效。此体系将逐步实现专家数据化,通过数字化运维帮客户实现省事舒心、内部创新的目的。

半导体行业高度全球化,大量国家/地区的企业围绕成本、良品率、生产效率、经济效益等多个维度展开竞争。除了自身技术研发和创新外,超纯水供应链服务商的选择,同样关系着企业能否在以上维度确立竞争优势,实现可持续发展。高频科技为代表的本土超纯水企业,不断深耕超纯水工艺,满足日益提升的芯片制造相关需求,为半导体行业带来更高的价值和竞争优势。

责任编辑：kj005