9月25日—27日,2023北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会在北京经开区举办,通过高规格、系列化的学术会议与博览会有机联动,为中国集成电路产业新一轮的创新发展集聚智慧和力量。作为与集成电路生产息息相关的超纯水领域科技企业,高频科技受邀出席,展出行业先进的超纯水工艺与循环再生解决方案,以及在材料研发与生产、水系统的运维服务等方面的创新成果,从而对接产业的多元化需求,与众企业一起推动半导体行业增长新态势。

超纯水在半导体生态地位日益提升,本土企业争创“芯”标准

本次展会上,高频科技在内的超纯水企业备受关注,这不仅展示了企业的强大实力,也侧面反映了超纯水在半导体产业链中的地位不断提升。在半导体生产中,超纯水被广泛应用于制造过程中的清洗、蚀刻、光刻、掺杂等多个环节,超纯水的品质与半导体的良品率直接相关。因此,半导体企业十分重视选择超纯水供应商。

不过,由于超纯水制造工艺的复杂性和高难度,本土企业在这一领域起步较晚,面临着较大的技术挑战。首先是高纯度要求。半导体超纯水技术需要达到极高的纯度要求,通常要求水中杂质浓度低至ppb(亿分之一)甚至ppt(万亿分之一)级别,这对水处理设备和工艺提出了极高的要求。

其次是高稳定性要求。半导体生产过程对水质的稳定性要求非常高,要求水中的各种离子、微生物和有机物的浓度保持稳定,不能有剧烈的波动。这对水处理设备和工艺的控制能力提出了挑战,需要采用先进的自动控制系统和在线监测技术来实现水质的稳定控制。

半导体超纯水生产还需要考虑资源利用率以及成本节省等问题。这是因为半导体生产需要耗费大量的水资源,如何提高资源利用率、减少水资源的消耗,同时降低废水的排放,对于半导体超纯水技术来说是一个重要的挑战。

高频科技先进超纯水工艺,推动产业高标准发展

近年来以高频科技为代表的超纯水企业稳步发展,不断进行研发突破,努力争创行业标杆。在超纯水制备与回收、材料的研发与生产、水系统的运维等方面取得令人瞩目成绩,积极推动着我国半导体产业跃升发展。

超纯水制备方面,高频科技聚焦超纯水国际化标准,通过自主研发和创新,接连突破ppb级别的TOC、溶解氧去除,以及ppt级别的硼、硅等特殊物质的去除方面等行业难题,目前已掌握了先进半导体制程所需的超纯水全部核心工艺。高频科技研发的超纯水系统,涉及超过18项专业处理工艺环节,8次增压提升,以行业性的应用创新成果,使产水水质接近绝对纯度,电导率无限接近18.24MΩ•厘米的理论极限值,其纯度可达99.9999999999%(ppt 级别——万亿分之一),实现了“纯度”护航半导体良率,满足半导体制程升级过程中对超纯水质量不断提高的需求,推动集成电路行业向高端化发展。

为了帮助企业提升水资源利用率,提高用水效率和效益,高频科技不断提升半导体回用水系统及废水收集处理系统的工艺技术,打造了电子级水系统的循环再生系统,实现水资源及其他相关资源的循环再生。目前高频科技已经研发交付了超过30种可选回用水工艺技术,已实现水制程回收率75%-90%,可有效帮助企业提升水效,节约大量的水资源成本支出,释放出降本增效潜能。同时,还可通过节能减排和保障微量元素回收利用来让真正的绿色厂务方案落地,满足企业可持续发展需求。

在超纯水材料研发和应用方面,高频科技也已经深入布局,并取得了重要成果。本次展会上,高频科技展示了GOALPURE反渗透膜元件、树脂系列产品等半导体水系统关键工艺产品及相关化学药剂,这些都是企业长期研发创新的成果。这些材料可以帮助持续优化并赋能先进的超纯水与循环再生解决方案,进而推动半导体产业高质量发展。

在半导体水系统运维方面,高频科技通过产品和服务创新为行业带来新价值。高频科技依托公司大批自有优秀半导体水系统专家的资深经验,创立标准化运维专家模型,为半导体工厂量身定制一体化运维服务体系。该体系在保证设备的稳定运行,降低能耗和成本,提高水质和环境保护,延长设备寿命,提高安全性等方面都具有重要作用。这些价值直接影响到半导体制造过程的效率和产品质量,对企业的竞争力和可持续发展具有重要意义。值得一提的是,此体系将逐步实现专家数据化,通过数字化运维让客户感到更加省事和舒心。

作为我国华北地区规模最大的集学术会议与博览会为一体的集成电路大会,2023北京微电子国际研讨会暨IC WORLD大会为半导体企业提供了展示自身技术和产品的机会,促进了产学研合作,推动了半导体产业链的协同发展。高频科技在内的半导体产业链企业,也积极应对产业发展路上的机遇和挑战,通过协同合作,寻找产业发展的最佳路线,推动半导体产业向高标准、高效能、高质量方向发展。