没有什么比客户的痛点，更让我们使劲投入去攻克。为了不断完善产品/方案，积累行业Know-how，我们一直非常重视与客户之间的沟通。

近期，我们回访了一位半导体工厂的设备主管。他反馈，FDC系统上线后，确实通过优化建模提升了设备异常侦测的准确性，实现了Cost down。但随着投入量产后，该设备主管不但要关注设备机况，还要解决产能问题。在这个过程中，他遇到了很多无法被侦测到的异常情况：

设备或系统无报警产生，但生产已经中断。比如：机台突然断电，无法鸣笛报警通知各个IT系统，长时间无人发现导致产品报废。

MES已派工，操作员忘记了将产品放到机台上按Load，导致生产中断、OEE loss。

Recipe/EC变更了，无法第一时间察觉异常。比如：工程师Recipe修改不合理，导致产品在机台某位置比以往停留时间长、被氧化报废。

设备Uptime高，但是产出少，找不到分析途径。

这位设备主管的“痛苦”，我们感同身受。在已有FDC系统的情况下，如何对生产流程进行无死角的监控？

我们引入了从时间角度进行异常侦测的系统——THD设备中断侦测系统（以下简称THD系统）。通过设置侦测时间、建立智能控制、自定义异常报警等方式，帮助用户在许多复杂问题上打破了僵局，并成功识别到了设备自身难以发现的问题，从而提升了设备效率（OEE）。

智能化侦测三件套，助力设备智能化管理

除了THD设备中断侦测系统外，格创东智设备智能化监控体系还包括：AMS设备报警管理系统、FDC设备故障检测系统。它们从设备功能的实现、性能的展示、流程的稳定性三个角度进行设备监控，实现全方面的异常侦测报警。

1、AMS设备报警管理系统：收集主设备及附属设备自身判定的异常报警，识别关键信息，通过一般事件任务和升级事件任务分别作出处理，实现异常处理的及时化和精准化。

2、FDC设备故障检测系统：通过多种分类规则和统计方式分析设备的传感数据，实现自定义的设备预警和工艺参数监测。

3、THD设备中断侦测系统：通过时间维度判定设备的运行工序是否异常（包括人为异常、生产流程异常、工艺节拍异常等）。

在这里，值得一提的是格创东智的FDC设备故障检测系统。格创东智率先将W*功能引入FDC系统，打破了设备的模块壁垒、规则壁垒、OCAP壁垒，使得FDC系统更加灵活和便捷。自动模型导入、EQP Match、EEA等功能广受用户好评，让FDC系统成为格创东智设备智能监控体系中的最重要的一环。它可以为用户解决以下难题：

设备和工艺异常缺少侦测手段；

Tool Match力不从心；

Cost down项目上缺少数据支持（如通过FDC数据延长Parts Lifetime）；

每个Pump还在用手柄查看电压/功率/温度等参数，没有集中化的监控管理；

原FDC系统运行缓慢，希望得到更多灵活性的功能，精确报警和减少工作量。

格创东智设备智能化管理应用实例

为满足不同情形的设备异常侦测，格创东智从设备的硬件特性、工艺路径、生产阶段等角度出发，结合业务场景和经验，运用智能化系统实现监测机制的全面化。让我们一起来看一个客户现场的成功实践。

某前道Fab厂，整厂设备50+Type，含LITHO，ETCH，CMP，IMP，TF，FUR 等设备类型。设备总量1000+，3000+chamber，每台设备工艺参数100+，工艺过程监控模型量100万+，工艺参数频率1HZ~10HZ。

客户痛点：

1、建厂初期导入的是外资FDC系统，定制化费用高昂，急需新的FDC系统针对其业务提供客制化功能。

2、用户FDC系统运用经验不足，供应商配合度低（仅提供系统部署，不提供应用经验），导致FDC系统效益低。

方案及价值：

1、原外资FDC系统建模数据自动迁移到格创东智FDC系统，实现无感切换。

2、提供客制化报表、OA签核系统、闭环管理OCAP，帮助客户优化FDC管理。

3、提供FDC业务端实施经验和建模方案，每月一次系统效益提升交流和行业案例分享，大幅提升FDC效益。比如Logic引擎帮助客户解决了很多复杂建模问题，减少某机型误报警20%；为用户提供了大量易用性功能，建模效率提升50%。

4、提供Pump等附属系统的FDC系统侦测，实现了附属设备异常的提前预警，多次避免Pump异常导致的主设备的紧急宕机和污染。

免责声明：市场有风险，选择需谨慎！此文仅供参考，不作买卖依据。

责任编辑：kj005