在半导体产业自主可控的关键赛道上，真空技术作为芯片制造全流程的核心支撑环节，直接关系到芯片制造的精度与效率，更制约我国半导体产业自主可控的关键瓶颈，其国产化进程始终备受行业关注。

近期，中科院旗下中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（以下简称“中科仪”）启动北交所上市申请，拟募资投向：干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵与大抽速干式螺杆泵研发等项目。

作为深耕真空领域七十载的领军企业，中科仪是我国领先的半导体制造设备核心部件及真空科学仪器设备供应商。公司凭借深厚的技术积淀打破国外高端真空设备垄断，成为半导体核心部件国产替代的标杆力量。此次冲击上市对中科仪来说是迈向资本舞台的重要一步，更将为我国半导体产业链自主可控注入强劲动能。

七十载技术积淀 铸就真空领域“国之重器”

据招股书显示，中科仪创建于1958年，前身是中国科学院直属事业单位，自成立以来便深耕真空技术领域，至今已有近70年的发展历程。公司主营业务聚焦于干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售，以及相关技术服务，核心产品分两大类：一类是用于集成电路晶圆制造、光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵；另一类是面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。

技术创新早已深植中科仪的发展基因。70年来，公司始终深耕洁净真空与超高真空技术领域，铸就了行业内难以撼动的技术壁垒。目前，中科仪坐拥三大国家级研发平台，分别是真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心和国家企业技术中心，妥妥的我国真空技术及科学仪器领域“攻坚主力军”。

据2025年中报数据，公司已累计获得100项发明专利，并牵头或参与制定了13项国家、行业及团体标准，在行业内的技术话语权持续领跑。依托国家级重大科研专项的战略支撑，公司曾4次肩负“02专项”研发任务，13次承接“04专项”“863计划”等重点课题，自主研发的8大核心技术已经全部实现规模化、产业化落地。

其中，无油真空获得及精密加工技术，把干式真空泵的极限真空度降到了0.2Pa，抽速范围全面覆盖5到6000立方米/小时；干泵抽气结构技术达成了极致能效比，代表性产品SGM-1200A的最低功耗只有1.2KW，尺寸精简到760×290mm，多项核心指标都跻身国际先进梯队。

在科研仪器领域，中科仪更是靠技术突破填补了多项国内空白：它的前身成功研制出我国首台分子束外延设备，也就是MBE，一举打破国外长期的技术禁运；还深度参与了北京正负电子对撞机、上海同步辐射光源等11项国家重大科技基础设施建设，为上海光源超70%的前端区和超50%的光束线提供核心装备。相关成果还斩获了国家科技进步一等奖，用硬核技术实力筑牢了国家前沿科学研究的装备根基。

优质股东深度赋能核心竞争力

作为国内半导体制造设备核心部件及真空科学仪器领域的领军企业，中科仪强劲的股东阵容，为此次冲击北交所上市及长期发展筑牢了坚实根基。控股股东国科科仪持股35.21%，背后由中国科学院控股有限公司实际控制。依托中科院深厚的科研积淀和国家级研发平台资源，国科科仪为公司提供持续的技术攻坚支持，以及承接重大科技专项的核心优势。

第二大股东是国家集成电路基金，持股19.73%。作为集成电路领域的核心产业资本，它为公司带来了产业链资源整合、市场渠道拓展以及产业化落地的关键助力。优质的股东阵容，推动中科仪在干式真空泵等核心产品上成功打破国外垄断、实现进口替代，也为它持续深耕半导体及真空科学仪器领域、提升市场竞争力筑牢了坚实基础。

国产替代标杆筑牢产业链屏障

凭借深厚的技术积淀和硬核的产品实力，中科仪在干式真空泵领域成功打破欧美、日本企业的长期垄断格局，跻身国产替代的核心标杆行列。公司的干式真空泵产品已经全面覆盖14nm先进逻辑芯片、128层及以上3D NAND存储工艺，是国内唯一实现集成电路先进制程批量应用，而且在清洁、中等、苛刻三类工艺中都达成规模化应用的企业，为我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控与供应链安全筑牢了坚实屏障。

市场业绩方面，中科仪持续领跑行业：截至报告期末，公司干式真空泵累计出货量突破4万台，其中集成电路领域出货量超3万台；2024年，公司在集成电路领域干式真空泵的国内市占率达到12.72%，稳居国产厂商榜首。客户群体广泛覆盖国内各大主流厂商，更成功通过台积电、大连Intel、SK海力士的严苛测试验证，实现了小批量出货，产品实力获得全球市场的高度认可。

在真空科学仪器设备领域，中科仪同样稳居核心地位，为高等院校、科研院所提供薄膜制备设备与高能物理真空装置，是我国大科学工程关键真空部件的核心研制单位，为基础科学研究与前沿技术创新提供了不可或缺的装备支撑。

财务稳健增长 创新驱动下的价值释放

强劲的技术创新势能和持续的市场拓展力度，共同转化成了公司稳健增长的财务动能。2022年至2024年，公司营业收入从69,808.55万元攀升至108,229.01万元，复合增长率达到24.51%；扣非后归母净利润从6,186.11万元增长至8,787.75万元，复合增长率19.19%，营收与利润都实现了高质量增长。

增长势头还在持续强劲：2025年1-9月，公司营业收入同比增长21.93%，归母净利润同比激增359.07%，扣非后净利润同比增长8.04%；2025年度营业收入预计将达到124,106.00到128,106.00万元，同比增幅14.67%到18.37%，扣非后净利润预计增长14.20%到23.31%，盈利能力稳步提升。

公司始终坚守财务健康与可持续发展理念，报告期内持续加大研发投入：2022到2024年，研发投入分别达到6,008.05万元、8,465.08万元、11,008.08万元，研发投入占营业收入的比例稳定在8.61%到10.17%之间，为技术创新筑牢了资金根基。与此同时，公司资产负债率保持在合理区间，2025年6月末母公司资产负债率仅为31.47%，财务结构稳健扎实，抗风险能力突出。

资本赋能未来 锚定高端化与规模化双升级

这次冲刺北交所上市，中科仪募集资金重点投向三大核心项目：干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵与大抽速干式螺杆泵研发。项目达产后，不仅能进一步巩固公司的市场领先地位，更能助力公司在先进制程苛刻工艺领域实现更全面的技术覆盖与突破。

依托中国科学院控股有限公司的雄厚资源背书，中科仪在技术研发、资源整合等方面具备先天优势。展望未来，公司将持续秉持“引领真空技术、支撑科技创新、促进产业发展”的核心使命，聚焦半导体及泛半导体领域的核心需求，深化技术创新与产业升级，推动干式真空泵向更多应用场景延伸，为我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控与供应链安全提供更为坚实的底层保障。

在真空技术这一“硬科技”核心赛道上，中科仪正以七十载的技术积淀为根基，以资本赋能为引擎，在国产替代的时代浪潮中续写新的篇章，为国家科技自立自强、产业高质量发展注入核心动能，同时为投资者创造长期稳定的价值回报。

责任编辑：kj005

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