在刚落幕的“Semi-e深圳国际半导体展暨2025集成电路产业创新展”上,深圳市微纳运控技术有限公司(以下简称微纳运控)亮相,展示国产伺服驱动领域硬实力。

据悉,微纳运控目前已构建出覆盖多场景需求的产品线。此次展会上,重点展示了支持脉冲、EtherCAT总线和Profinet协议的通用伺服驱动器与直驱伺服等。
其中,VC620驱控一体机以“驱控一体化”,实现开箱即用,无需繁杂安装与接线。其设备集成最多六轴伺服驱动和运动控制器,轴与I/O可灵活外扩,大幅降低部署成本。
在功能拓展上,该产品控制器可选配Codesys控制器或以太网板卡控制器,支持二次开发;同时,其逐步完善激光切割、视觉点胶、机器人分拣等应用方案,特别适用于电子设备、激光设备、工业机器人等场景。
而作为2021年国内首家推出Profinet直线驱动产品的型号,VS580直驱伺服支持ABZ、Biss-C、SI等多种编码器,最高分辨率达26位,可实现1000点精度补偿。

同时,该产品配备电机向导式安装功能与高级增益智能自调谐,操作便捷性大幅提升。在控制精度上,其支持10um级别微动与1um级别准静态寻相,EtherCAT版本更可实现龙门同步控制,能适配半导体设备、激光切割、电子设备、数控机床等高端场景。
此外,该产品电流环刷新周期仅1.6us,带宽达3300Hz,定位时间最快至5ms,还支持高频共振抑制与低频末端抖动抑制,可适配直线电机、直接驱动旋转马达、音圈电机等多种电机类型。
V5M防水电机以高防护与高功率密度为核心亮点,防护等级达IP67,可应对潮湿、多尘等复杂工况;功率密度较市场主流产品提高15%,特别适用于数控机床、户外特种作业设备等对稳定性与耐用性要求较高的场景。
除单款明星产品外,微纳运控多轴伺服产品亦吸引诸多关注。该产品在同步控制上,支持任意两轴同步及双X双Y同步,无需额外接线,同步精度最高达10um。
在位置控制上,搭载二维PSO功能,可实现XY两维曲线位置比较输出与实时计算,精度精准至1um,适配激光切割、半导体设备等高精度场景。安全与性能层面,该产品集成STO功能,支持短时输入电压异常穿越。
“我们是国内首家推出国产Profinet直驱伺服的厂商。”微纳运控全球运营中心负责人谢茵莹表示,目前国内规模领先的半导体薄膜沉积装备厂商已在引进该公司VS600系列四轴及六轴总线型驱动器。
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责任编辑:kj005
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