中科摇橹船晶圆检测装备获首台（套）重大技术装备认定

2026-01-19 20:15:18 来源：财讯网

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近日，重庆市经信委、市财政局共同公布“重庆市首台(套)重大技术装备产品名录”，中科摇橹船自研的Micro-LED晶圆外观检测系统获“首台(套)重大技术装备”认定。

据介绍，首台(套)重大技术装备，是指经过创新研制，在品种、规格等方面形成重大突破，具有知识产权但处于市场推广初期的产品，具备创新性强、技术含量高、产业带动作用明显、市场潜力大等特点。

此次公布的47件装备产品，属于第四批首台(套)重大技术装备。中科摇橹船自研的Micro-LED晶圆外观检测系统，突破了制约Micro-LED显示技术大规模商用的关键技术瓶颈。

Micro-LED被视为颠覆显示产业的“终极显示技术”，但其大规模商用受困巨量芯片精准转移难、坏点检测难两大技术瓶颈。

在Micro-LED生产过程中，需将数百万颗尺寸小于50微米的芯片，从晶圆上依次精准转移至驱动电路基板上，且在转移前必须准确检测出有缺陷的芯片。这两项操作难度极高，导致Micro-LED显示屏产品良率低，最终推高了企业和消费者的成本负担。

早在2023年初，面对某半导体龙头企业的紧急技术需求，中科摇橹船组建了一支20余人的攻坚团队启动该项目，目标直指国产替代。

项目执行过程中，面对缺乏行业数据的困境。研发团队一方面采用异常检测算法，让没有缺陷的样本去找缺陷芯片，解决了缺陷数据不足的问题。另一方面，设计了全新的标定板，创新推出了适用于Micro-LED芯片转移定位的标定方法。

历经近两年的反复打磨与技术迭代，Micro-LED晶圆外观检测系统成功面世，在芯片检测环节，将漏检率控制在0.01%以下;在芯片转移环节，实现了微米级的取放重复定位精度。该装备于2024年初接入产线后，客户核心生产线的检测效率提升60%，生产成本降低30%，产品良率达99.99%。

未来，中科摇橹船将继续坚持“硬科技驱动高质量发展”，深耕“光+AI”领域，以更多自主研发的高端智能感知装备，为半导体及智能制造业发展注入澎湃动能。

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责任编辑：kj005

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