在碳化硅产业蓬勃发展的当下，海目星激光科技集团股份有限公司（股票代码：688559）子公司深圳市海目芯微电子装备科技有限公司凭借持续的技术创新，在行业内脱颖而出，成为推动产业进步的重要力量。

全尺寸长晶自主可控

近期，海目芯微成功研制出直径12英寸的碳化硅单晶晶锭。此前，公司已成功将8英寸碳化硅长晶工艺缺陷率控制在稳定值以下。这标志着海目芯微在6、8、12英寸全尺寸长晶技术链上实现了全面自主可控。

在实现8英寸晶体生长工艺稳定可控后，海目芯微通过提升热场寿命、降低功耗等措施，使长晶成本大幅降低。同时，海目芯微聚焦于更大尺寸晶体生长技术的研发。12英寸碳化硅晶体生长在晶体内部的热梯度和径向温度场更加复杂，内应力增加会严重制约大尺寸、高质量SiC单晶的制备。海目芯微依托自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺技术，通过创新性温场设计与晶体完整性控制迭代，有效保障了大尺寸晶体的稳定生长。本次制备的晶锭结晶质量优异、结构完整，充分展现了海目芯微在核心技术与工艺上的双重突破。

多地协同高效发展

海目芯微成立于2021年3月，是海目星激光的参股子公司。海目芯微采用“一总部两基地”的布局模式，深圳总部统筹研发与运营，成都、江西基地依托14000平米厂房保障设备高效量产。这种布局既保证了技术研发上的领先地位，又能实现产品的快速量产，满足市场需求。

多元发展全面覆盖

海目芯微业务涵盖四大核心领域，包括显示面板超快激光装备系列、微米级光刻机装备系列、第三代半导体（SiC）装备系列及其它类激光装备系列。海目芯微已通过ISO国际质量管理体系认证，并荣获国家高新技术企业、“专精特新”中小企业等多项资质认证。这些认证不仅是对产品质量和管理水平的肯定，也为海目芯微在市场竞争中赢得了优势。

海目芯微以“持续为泛半导体行业设计和制造最先进的装备，帮助客户获得竞争优势和维持技术领先”为使命。坚持自主创新，深耕不辍，以卓越的产品与服务赢得客户信赖，致力于成为行业首选品牌。此次在碳化硅领域的技术突破，正是海目芯微持续投入的成果体现，也展现了海目芯微在技术创新和产业化推进方面的坚定步伐。

未来，海目芯微将继续针对长晶、衬底加工等核心痛点，突破技术壁垒，以持续的技术创新构建核心竞争力，推动企业持续发展，为碳化硅产业的发展做出更大贡献。

责任编辑：kj005

文章投诉热线:157 3889 8464  投诉邮箱:7983347 16@qq.com